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化学汽相沉积
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化学汽相沉积
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T 工业技术
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博
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主题:
薄膜金刚石
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金刚石薄膜
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文献类型:
图书
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辽宁省图书馆
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主题
制备
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化学汽相沉积
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等离子体诊断
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[薄膜金刚石]
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[金刚石薄膜]
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著者
俞世吉
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俞世吉[著]
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出版日期
2000
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文献类型
[图书]
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语言种类
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1.
射频感应耦合等离子体增强化学气相沉积类金刚石膜的研究
订购中
著者:
俞世吉
出版社:
大连理工大学
出版日期: 2000
文献类型:
图书 , 索书号:
TB43/13
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